天津大学作为项目牵头单位承担的国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“光谱色散式膜厚探测器”项目启动会暨实施方案论证会在天津召开。项目责任专家中国科学院空天信息创新研究院张文喜研究员和中国科学院合肥物质科学研究院阚瑞峰研究员，项目技术专家北京大学张大成教授、上海市计量测试技术研究院李源研究员、三英精控（天津）仪器设备有限公司须颖教授、TCL中环新能源科技股份有限公司中环研究院张雪囡副院长、北京交通大学范国芳教授，天津大学校长助理张力新、天津大学精密仪器与光电子工程学院院长邾继贵、项目负责人胡春光、项目牵头单位及参与单位科研管理部门代表、课题负责人和骨干成员30余人参加了本次会议。会议由天津大学科研院副院长张赫主持。

会上，天津大学校长助理张力新代表项目牵头单位致欢迎辞，强调该重大项目不仅是天津大学在微纳测量领域多年来积累的重要体现，也是天津大学在承担国家重大需求方面的又一次发力。他表示天津大学将切实落实法人责任，全力支持项目开展研究工作，做好协调和支撑保障，确保项目顺利开展和各项任务圆满成功，并为各位专家颁发了聘书。

项目负责人胡春光教授介绍了该项目的研究目标和内容、项目总体集成要求和关键节点里程碑等内容，在项目实施方案的基础上进一步明确了项目的组织管理机制和项目组沟通协调机制。随后，清华大学田芳馨、华海清科股份有限公司刘远航、中国科学院微电子研究所霍树春等代表参研单位就课题情况和实施方案进行了详细汇报。与会专家对实施方案表示肯定，就项目和课题实施过程中的关键节点控制、技术路线、进度安排、应用实施等具体工作提出了宝贵的意见和建议。专家组一致同意项目通过实施方案论证。

国家重点研发计划项目“光谱色散式膜厚探测器”由天津大学牵头组织，清华大学、华海清科股份有限公司、中国科学院微电子研究所等单位共同承担，旨在围绕薄膜厚度高精度高性能测量的重大需求，开发光谱色散式膜厚探测器，突破相关关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在晶圆检测系统、制程薄膜测量系统等仪器中的应用。